光刻机概念股100只整理，国产光刻机进入快速发展轨道-中国存储网

2025-08-11 23:09:12 来源：中国存储网

光刻机概念股100只整理，国产光刻机进入快速发展轨道

图文荷兰ASML公司的光刻机

半导体制造的工艺非常复杂，光刻机堪称是 “皇冠上的明珠”，其地位举足轻重。它以一种近乎神奇的方式，将人类的智慧和科技的力量，浓缩在小小的芯片之上。没有光刻机，就没有现代电子产品的飞速发展，从智能手机到电脑，从汽车电子到人工智能，这些我们生活中习以为常的科技产品，都离不开光刻机的精密制造。

光刻工艺是一个复杂而精细的过程，它就像是一场微观世界里的精密舞蹈，每一个步骤都至关重要，直接影响着芯片的最终质量和性能。

从技术角度看，光刻机是一种集光学、电子、机械、材料等多学科顶尖技术于一体的高端设备。它的工作原理，简单来说，就是通过一系列复杂的光学系统，将掩模版上的集成电路图案精确地投影到硅片上，如同一位技艺精湛的画师，在微小的硅片上绘制出极其复杂的电路图案。这一过程对精度的要求达到了纳米级，甚至可以说，光刻机的精度决定了芯片的性能和功能。在如今的半导体制造领域，芯片的制程工艺已经进入到了 7 纳米甚至更小的尺度，这意味着光刻机需要在极小的空间内，实现极高精度的图案转移，其技术难度可想而知。

光刻机概念股100只整理，国产光刻机进入快速发展轨道

图为芯上微装步进光刻机

中国光刻机企业已经制定了明确的发展路线图。上海微电子在2025年3月公布的战略规划中提出，将在2027年前实现14纳米光刻机的规模化生产，2030年前突破7纳米技术。

光刻机概念类股票列表如下：（其中涵盖了主机/光刻胶/刻蚀等细分领域）

1	688167	炬光科技	☆☆☆☆☆	公司光场匀化器性能卓越，应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，进入ASML、台积电等厂商的供应链
2	603078	江化微	☆☆☆☆☆	公司有光刻胶配套试剂循环再生产品主要以高世代LCD面板和AMOLED线为主。
3	300346	南大光电	☆☆☆☆☆	子公司宁波南大光电负责组织实施“ArF光刻胶开发和产业化项目”，研发的产品成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。
4	688409	富创精密	☆☆☆☆☆	公司已进入全球光刻机龙头ASML供应链体系。
5	603005	晶方科技	☆☆☆☆	公司收购的Anteryon公司为荷兰光刻机制造商ASML供应商
6	000859	国风新材	☆☆☆☆	公司与中国科学技术大学合作研究光敏聚酰亚胺（PSPI）光刻胶等
7	300331	苏大维格	☆☆☆☆	公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备
8	688199	久日新材	☆☆☆☆	公司正在研发阳离子光引发剂和光刻胶光敏剂
9	300260	新莱应材	☆☆☆☆	公司产品可以用于7nm以下的干式刻蚀制程
10	300429	强力新材	☆☆☆☆	公司专业从事电子材料领域各类光刻胶专用电子化学品的研发、生产和销售及相关贸易业务。
11	002549	凯美特气	☆☆☆☆	子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cvmer公司合格供应商认证。
12	688720	艾森股份	☆☆☆☆	公司主要产品为电镀液及配套试剂、光刻胶及配套试剂等
13	688502	茂莱光学	☆☆☆☆	公司是国产光刻设备龙头上海微电子供应商。
14	301421	波长光电	☆☆☆☆	公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜光刻工序。
15	605589	圣泉集团	☆☆☆	公司生产的ppb级的高纯线性酚醛树脂还应用于半导体芯片并可作为光刻胶中的主成膜物，是不可或缺的高技术材料。
16	002409	雅克科技	☆☆☆	公司通过购买LG化学下属的彩色光刻胶事业部的部分经营性资产，可以获取彩色光刻胶的关键技术
17	688268	华特气体	☆☆☆	公司的光刻气产品通过ASML公司认证
18	300758	七彩化学	☆☆☆	公司控股子公司绍兴上虞新利化工有限公司“2000吨/年光敏性中间体及600吨/年高性能光刻胶系列产品技改项目”目前正在安装设备阶段。
19	300522	世名科技	☆☆☆	子公司常熟世名化工科技有限公司技改项目中涉及的光刻胶颜料分散液（光刻胶色浆）
20	002453	华软科技	☆☆☆	公司光刻胶基材产品业务，目前正处于客户接洽阶段，已有少量试订单。
21	002326	永太科技	☆☆☆	公司年产1500吨CF光刻胶项目已进入了项目验收阶段
22	603306	华懋科技	☆☆☆	公司持有徐州博康不低于29.704%的股权,标的是国内主要的产业化生产中高端光刻胶单体的企业
23	603650	彤程新材	☆☆☆	公司全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权，科华微电子是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业
24	300576	容大感光	☆☆☆	公司掌握PCB油墨、光刻胶等电子化学产品生产过程中的核心技术。
25	300398	飞凯材料	☆☆☆	公司的光刻胶产品主要目标应用于TFT-LCD行业。
26	300655	晶瑞电材	☆☆☆	子公司苏州瑞红于1993年开始光刻胶的生产，是国内最早规模化生产光刻胶的企业之一
27	688019	安集科技	☆☆☆	公司主要产品有光刻胶去除剂系列
28	300293	蓝英装备	☆☆☆	公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。
29	300200	高盟新材	☆☆☆	参股公司北京科华是光刻胶企业
30	688550	瑞联新材	☆☆☆	目前公司一部分光刻胶产品处于送样测试阶段。
31	603120	肯特催化	☆☆☆	公司所开发的产品，并非催化光刻胶显影液，而是光刻胶显影液。目前，刻蚀液产品已实现批量生产
32	688630	芯碁微装	☆☆☆	公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务
33	688602	康鹏科技	☆☆☆	公司占有上海觅拓材料科技25%的股份，标的主要生产光敏剂（光刻胶的原料）。
34	002559	亚威股份	☆☆☆	公司与关联方共同投资的威迈芯材从事半导体化合物的研究、制造和销售
35	301297	富乐德	☆☆☆	2023年9月8日互动易回复：公司已研发并量产半导体14nm制程洗净工艺、储备的半导体7nm部品清洗工艺已较为成熟。公司为光刻环节的溶胶显影、涂胶等设备提供精密洗净服务。
36	300121	阳谷华泰	☆☆☆	公司2024年11月1日公告：拟通过发行股份及支付现金的方式购买波米科技 100%股份，波米科技聚焦“光敏性聚酰亚胺和聚酰亚胺液晶取向剂”等半导体材料研发和产业化
37	603928	兴业股份	☆☆☆	公司已研发成功半导体光刻胶用酚醛树脂、特种半导体封装用酚醛树脂等一批特种有机合成功能新材料
38	603125	常青科技	☆☆☆	2-乙烯基萘为公司募投项目产品之一，可用于高端光刻胶的生产，该募投项目前置审批手续均以完成，现正在稳步建设当中
39	603738	泰晶科技	☆☆☆	2022年11月14日互动易回复：公司深耕光刻工艺技术十余年，在国内率先实现MEMS光刻工艺的产业化应用，光刻晶片包含超高频MHz和kHz,光刻晶片自主研发，自主可控。
40	601208	东材科技	☆☆☆	公司与韩国Chemax、种亿化学共同投资设立合资公司，拟重点开展高端光刻胶材料的合成与纯化业务，积极布局先进光刻胶材料领域。
41	002455	百川股份	☆☆☆	公司生产光刻机溶剂PMA，年产5万吨。
42	603297	永新光学	☆☆☆	2022年1月29日公司对上海证券交易所监管工作函回复的公告表示：公司功能性光学镜头及元件扩产项目于2020年11月达产，其中专业成像镜头范围较广，包括专业影像镜头、机器视觉镜头、LDI光刻机镜头等。
43	688669	聚石化学	☆☆☆	公司重点建设安徽拉瓦锡科技有限公司显示光刻胶项目，争取年内投产，项目规划建设年产18000吨光刻胶
44	600850	电科数字	☆☆☆	公司为光刻机等半导体装备生产商提供国产化计算、控制模块和产品
45	600353	旭光电子	☆☆☆	公司用于光刻机、等离子清洗/抛光等半导体设备领域的发射管产品已经客户验证通过，并实现批量销售。
46	301510	固高科技	☆☆☆	公司产品在刻蚀、沉积、清洗等半导体前道加工设备中已形成订单，并积极开发如光刻机、机械抛光、涂胶显影等晶圆制造先进制程控制系统
47	301611	珂玛科技	☆☆☆	公司先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序，应用公司产品的前道设备包括光刻机、涂胶显影设备，公司境内代表性客户包括上海微电子、科益虹源、芯源微
48	603360	百傲化学	☆☆☆	全资子公司上海芯傲华科技有限公司拟以人民币7亿元增资苏州芯慧联半导体科技有限公司增资后直接持有其 46.6667%股权，该公司主营业务为涂胶显影机、光刻机等黄光制程设备
49	301256	华融化学	☆☆☆	公司目前从事湿电子化学品业务，湿电子化学品指微电子、光电子湿法工艺中使用的液体化学品，主要包括超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等
50	300700	岱勒新材	☆☆☆	公司控股子公司岱华科技已研发出清洗剂、剥膜液、显影液和蚀刻液等光刻胶配套试剂产品，除蚀刻液、显影液处于研发中外，其他产品都已经提供客户试用验证中，同时公司也在积极推进相关产品的市场应用
51	688307	中润光学	☆☆☆	公司拟收购戴斯光电共计51%的股权，戴斯光电研发生产的高端滤光片主要应用于光刻机、生物滤光片等高端场镜，主要客户为NEWPORT、THROLABS、KLA、COHERENT、创鑫激光等，终端应用客户包括ASML等
52	301568	思泰克	☆☆☆	公司拟以自有资金人民币 1,200万元对华睿芯材进行增资，将直接持有其3.75%股权，该公司专注于半导体光刻胶及其相关配套化学品等关键微电子材料的研发、半导体光刻胶的产业化适配、光刻胶核心组分的量产
53	920489	佳先股份	☆☆☆	公司2024年10月18日公告，联营企业英特美年产500吨光刻胶单体对乙酰氧基苯乙烯顺利下线
54	300219	鸿利智汇	☆☆☆	公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的 UV LED部分产品有应用于光刻机领域
55	603823	百合花	☆☆☆	公司研发部对现有产品，根据市场新的需求，进行产品提升；应用于液晶面板的光刻胶高性能颜料取得技术突破，实现对外销售
56	002816	*ST和科	☆☆☆	公司主要产品涵盖晶圆清洗设备、匀胶显影设备、无掩膜光刻机、微影光刻机和晶圆去胶机等。和科达半导体公司当前营收规模相对有限，对公司整体业绩贡献度较低
57	688146	中船特气	☆☆☆	公司近日收到日本 GIGAPHOTON 株式会社发来的合格供应商认证证书，公司光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）通过了 GIGAPHOTON 的合格供应商认证
58	301209	联合化学	☆☆☆	公司新成立的合资公司启辰半导体新材料（盘锦）有限公司开展苯乙烯类光刻胶单体、树脂、苯乙烯UV单体、树脂、OLED半导体化学品、电子级溶剂等的研发、生产、销售
59	688157	松井股份	☆☆☆	公司已具有性能优异、系列完整的光刻胶产品体系，并可根据客户工艺要求进行定制开发，应用领域涵盖集成电路、发光器件、射频器件、分立器件、先进封装、微机电系统等
60	300666	江丰电子	☆☆☆	公司研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目开发项目，开发多层钛合金扩散焊接技术，制备28nm以下节点的光刻机核心冷却部件，已进入量产阶段
61	603800	洪田股份	☆☆☆	公司为客户供应的掩模版直写光刻机，是一台波长为405nm，最小线宽线距解析能力为2.5μm，对位精度为±2μm的高精度的激光直写光刻设备，可实现L/S为3μm的掩模版产品的量产光刻，同时提供多重图形涨缩补偿算法
62	688376	美埃科技	☆☆	公司上市保荐书：公司为上海微电子开发国内首台28纳米光刻设备工艺制程所需国际最高洁净等级(ISO Class1级)洁净环境提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及ULPA(超高效过滤器)等产品
63	300623	捷捷微电	☆☆	公司拥有“高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置”专利，以及子公司捷捷半导体拥有“一套光刻胶残胶收集装置”。
64	300538	同益股份	☆☆	公司引入韩国光阻材料供应商SMS、KISCO、DKC
65	300797	钢研纳克	☆☆	2023年5月29日业绩说明会：公司生产的场发射扫描电镜已用于半导体行业光刻胶缺陷分析等方面的检测。
66	600078	澄星股份	☆☆	孙公司无锡澄泓生产的产品主要是光刻胶剥离液
67	002643	万润股份	☆☆	公司布局电子化学品领域的聚酰亚胺材料、光刻胶单体材料，进一步丰富公司信息材料产业产品线，公司已有聚酰亚胺材料和光刻胶单体材料相关产品实现销售，相关业务尚处于拓展初期。
68	300537	广信材料	☆☆	公司光刻胶项目正在研发中，已有部分研发成果
69	300236	上海新阳	☆☆	子公司上海芯刻微进行193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目
70	300031	宝通科技	☆☆	公司投资的博砚电子已经成功开发出系列光刻胶产品
71	688181	八亿时空	☆☆	公司拟使用10,000万元的超募资金建设研发平台，重点用于聚酰亚胺（PI）和光刻胶材料的研发。
72	002008	大族激光	☆☆	公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
73	300456	赛微电子	☆☆	公司与ASML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
74	002584	西陇科学	☆☆	公司根据客户需要进行光刻胶相关产品研制
75	600895	张江高科	☆☆	公司子公司张江浩成持有微装公司10.779%的股权，微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。
76	002324	普利特	☆☆	子公司上海普利特半导体材料有限公司持股25%的苏州理硕科技有限公司是一家从事平板显示器和半导体芯片用光刻胶及光刻工艺材料研发和生产的高科技企业。
77	603931	格林达	☆☆	公司产品主要用于LCD显示面板制造中基板上颗粒和有机物的清洗、光刻胶的显影和剥离、电极的蚀刻等。
78	603607	京华激光	☆☆	公司控股公司美国菲涅尔制版科技公司有光刻机的研发与销售。
79	300786	国林科技	☆☆	公司的装置在光刻胶清洗过程当中需要用到
80	300801	泰和科技	☆☆	公司光刻胶研发项目“电子级酚醛树脂的合成技术研究”目前处于小试阶段
81	002165	红宝丽	☆☆	2021年11月22日互动易：公司-异丙醇胺可用于电子化学品之光刻胶清洗剂，也是近年来公司在国内市场重点拓展的应用领域之一，目前保持快速增长态务。
82	300691	联合光电	☆☆	2023年3月16日互动易回复：公司是一家集光成傢、光显示、光感知为核心技术的专业镜头、光电产品及系统解决方案提供商。公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。
83	300806	斯迪克	☆☆	公司产品感光干膜应用在UV和LDI曝光机上PCB外层蚀刻和电镀制程，感光干膜是一种PCB光刻胶
84	300203	聚光科技	☆☆	聚光科技EXPEC 7350s型ICP-MS/MS系统凭借ppq级超痕量检测与多元素同步分析优势，构建了覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆金属残留等关键领域的完整解决方案
85	601727	上海电气	☆	公司母公司上海电气控股集团有限公司持有上海微电子27.0558%股权。
86	300721	怡达股份	☆	公司产品可用于生产光刻胶
87	688195	腾景科技	☆	公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。
88	002338	奥普光电	☆	公司2021年6月9日在投资者互动平台表示，大股东长光所研发光刻机的曝光系统，曝光系统是光刻机的一个核心部件。
89	002669	康达新材	☆	子公司上海康达新材料科技有限公司竞得彩晶光电60.9205%股权，彩晶光电完成了光刻胶核心材料感光剂（PAC）产品开发，平坦层光刻胶材料（OC）已在客户处开展应用测试。
90	600619	海立股份	☆	公司与上海微电子装备集团以封装光刻机的冷却系统配套为起点，深化合作，目前该冷却系统年收入规模仅数十万元。
91	300054	鼎龙股份	☆	公司主要布局有显示用光刻胶（PSPI）和封装光刻胶（PSPI）产品。
92	603324	盛剑科技	☆	公司与日本长濑化成达成合作，引进长濑化成先进的FPD光刻胶剥离液和蚀刻液技术，生产、销售适用于FPD（平板显示，包括LCD、LED、OLED等）的剥离剂和蚀刻液。
93	300905	宝丽迪	☆	公司成功研发红色纳米色浆，可应用于光刻胶领域。
94	688056	莱伯泰科	☆	公司的三重四极杆质谱仪(ICP-MS/MS)能够应用的范围很广，可用于监控半导体硅材料、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，助力制造商控制产品质量，提升良率。
95	688125	安达智能	☆	公司Asher/除胶（单腔体）项目实现自动取料送料，半导体前后段各种光刻胶自动去除，目前项目已进入客户验证阶段。
96	301036	双乐股份	☆	公司用于面板光刻胶的颜料的产线已经投资建设完成，目前产品在测试和改进中。
97	003043	华亚智能	☆	公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。
98	003031	中瓷电子	☆	公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。
99	300990	同飞股份	☆	2023年半年报：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
100	002889	东方嘉盛	☆	公司将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造

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